108C Auto/SE鍍碳儀
描述
108carbon SE鍍碳儀基于108c鍍碳儀。它包含108c的所有優點，但有更大的?150x165mm樣品室，可以放置更大或更多的樣品。108C Auto/SE是用于掃描電鏡能譜分析的先進的鍍碳儀之一。
主要特性
- 獨特的受反饋控制的碳棒蒸發系統可以在膜厚大約20nm左右進行多次蒸發，無須切削或調整碳棒形狀。
- 108C Auto/SE中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質量的鍍膜效果。該鍍膜系統結構緊湊，容易操作，抽真空周期短。選件MTM-10高分辨膜厚監控儀可以精確地得到所需的碳膜厚度。
- 使用新型的蒸發裝置：電流和電壓通過磁控頭的傳感線監控，蒸發源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發裝置使常規的碳棒具有優良的穩定性和重現性。功率消耗低，碳棒具有優異的重新蒸鍍特性。蒸發源可以通過脈沖或連續的方式操作。
- 可選擇手動或自動方式操作。
- 自動模式下，蒸發源按程序設定的電壓和時間進行噴鍍。手動模式下，獨特的設計允許以脈沖或連續的方式操作，并通過旋鈕控制輸出電壓。
- 可配備MTM-10高分辨膜厚監控儀（選件）。分辨率優于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范圍內，重現性可優于5％。
| 技術參數 |
| 樣品室大小 | 直徑150 x 165mm 高 |
| 蒸發源 | Bradley型 (6.15mm rods),高強度不銹鋼結構 |
| 蒸發控制 | 基于微處理器的反饋回路控制，能夠進行遠程電流/電壓感應，基于真空水平變量的安全互鎖功能，最大電流180A，提供過流保護 |
| 樣品臺 | 可裝置12個樣品座，高度在30mm范圍內可調 |
| 模擬計量 | 真空: atmos – 0.001mb; 電流: 0-200A |
| 厚度監控 | MTM-10 高分辨膜厚監控儀(選件) |
| 控制方法 | 自動蒸發控制，使用程序設定的電壓和時間 以脈沖或連續方式進行完全手動控制 數字定時器（0－10s） 數字電壓設置（0.1 to 6.0V） |
| 真空系統 |
| 真空泵 | 2級直連式高速真空泵 |
| 抽氣速率 | 真空度到 0.1mb所需時間30秒. |
| 極限真空 | 5 x 10-3mba |
| 桌上系統 | 真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統 |